[发明专利]一种导电细丝机理研究器件及其制备方法、应用在审
| 申请号： | 201810270745.8 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108389963A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王燕;韩素婷;周晔;陈锦锐;王展鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电阻式随机存储器的导电细丝机理研究器件及其制备方法、应用，通过选择离子迁移特性强的卤素钙钛矿材料作为制备阻变活性层材料，同时选择活泼金属通过带有沟道的掩模板来制备水平的两端金属电极，构建出导电细丝机理研究器件，通过扫描电子显微镜以及能谱仪对所述导电细丝机理研究器件中导电细丝的形成与成分进行原位监测，本发明所提供的分析方法具有器件制备简易、观察面积大、仪器操作简便、可实现原位动态观察导电细丝形成过程以及实时分析导电细丝成分等优点，具有可借鉴性，能够广泛应用于RRAM导电细丝机理的研究领域。 | ||
| 搜索关键词： | 导电细丝 机理研究 制备 电阻式随机存储器 扫描电子显微镜 两端金属电极 原位动态观察 应用 钙钛矿材料 活性层材料 活泼金属 离子迁移 器件制备 实时分析 仪器操作 原位监测 借鉴性 能谱仪 掩模板 沟道 构建 简易 观察 分析 研究 | ||
【主权项】：
1.一种电阻式随机存储器的导电细丝机理研究器件，其特征在于，包括:基底、设置在所述基底上的阻变活性层以及设置在所述阻变活性层上带有沟道的电极，所述电极的材料为活泼金属，所述阻变活性层的材料为卤素钙钛矿。
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