[发明专利]微波加热装置操作方法及使用该方法的微波退火处理方法

摘要

本发明提供一种微波加热装置的操作方法及使用所述方法的微波退火处理方法，所述操作方法包括在加热腔室中设置载台、在加热腔室外设置微波发射机，并提供半波整流电源耦接至微波发射机，半波整流电源包含有电容器；加热腔室与微波发射机之间连接有纵向波导波管与横向波导波管。调整半波整流电源的电容器的电容值，使微波发射机发出的微波波形带宽扩大至产生多个重叠耦合，倍增微波模态数；经由半波整流电源供应电力至微波发射机，使微波藉由纵向波导波管与横向波导波管传递至加热腔室中，并于加热腔室中形成多重微波模态，达到均匀加热的目的。

主权项

1.一种微波加热装置的操作方法，其特征在于包括：在一加热腔室中设置一容置空间；提供一载台于所述容置空间中，所述载台具有一平面，用以承载至少一微波受热物件；于所述加热腔室外设置多个微波发射机，用以发射微波；设置多个半波整流电源，分别耦接至所述微波发射机，所述半波整流电源中的每一个包含有一电容器；于所述加热腔室与相应的所述微波发射机之间，分别连接多个纵向波导波管与多个横向波导波管，各所述纵向波导波管中的电场极化方向垂直于所述载台的所述平面，各所述横向波导波管中的电场极化方向平行于所述载台的所述平面；调整所述半波整流电源中所述电容器的电容值，使所述微波发射机发出的微波波形带宽扩大至产生多个重叠耦合；以及经由所述半波整流电源供应电力至所述微波发射机，使所述微波藉由所述纵向波导波管与所述横向波导波管传递至所述加热腔室中，并于所述加热腔室中形成多重微波模态。