[发明专利]镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆系统在审
| 申请号： | 201810204615.4 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108570704A | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 小泉龙也;下山正;长井瑞树 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D19/00 | 分类号： | C25D19/00;C25D21/12;C23C18/16 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆系统。镀覆方法能够在基板的镀覆中在运输机、镀覆槽等发生故障的情况下拯救基板。在镀覆方法中，由运输机(40)将多个基板分别输送至多个镀覆槽(25)，使多个基板浸渍于多个镀覆槽(25)内的镀覆液，对多个基板进行镀覆，对在运输机(40)或后处理槽发生故障进行检测，由保存液置换多个镀覆槽(25)内的镀覆液，使多个基板浸渍于保存液中。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 多个基板 镀覆槽 运输机 浸渍 镀覆系统 镀覆装置 发生故障 保存液 镀覆液 基板 后处理槽 置换 检测 | ||
【主权项】：
1.一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，并对该多个基板进行镀覆，对在所述运输机或后处理槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，并使所述多个基板浸渍于保存液中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810204615.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
