[发明专利]一种光学准直扩束系统在审
| 申请号： | 201810183042.1 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108415171A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 范真节;邢廷文;林妩媚;李声;廖志杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学准直扩束系统，解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时，光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述光学准直扩束系统由两块球面镜和四块柱面镜组成，其中两块柱面镜光焦度为y方向，另外两块柱面镜光焦度为x方向，单片球面镜与不同光焦度方向柱面镜组成一组准直扩束器，该系统共两组准直扩束器，第一组准直扩束器先对激光光束进行扩束，然后使激光在5米～20米范围内传输，再用第二组准直扩束器对激光光束进行准直，保证x方向光束和y方向光束均能口径和发散角要求。该光学准直扩束系统结构简单，易于加工装调，在不同传输距离时无动件，易于机械控制。 | ||
| 搜索关键词： | 准直扩束系统 准直扩束器 柱面镜 激光光束 光焦度 传输距离 方向光束 发散角 球面镜 光刻技术 光束口径 机械控制 单片 动件 扩束 两组 装调 准直 激光 口径 传输 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种光学准直扩束系统，其特征在于：所述的光学准直扩束系统由第一球面镜(2)、第一柱面镜(3)和第二柱面镜(4)、第二球面镜(5)、第三柱面镜(6)和第四柱面镜(7)构成；第一球面镜(2)与第一柱面镜(3)和第二柱面镜(4)组成第一组准直扩束器，对激光器(1)发射的激光光束进行扩束；再进行激光传输，第二球面镜(5)与第三柱面镜(6)和第四柱面镜(7)组成第二组准直扩束器，对传输的激光光束进行准直，保障光束口径和发散角满足使用需求，最终投射到衍射元件(8)上。
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