[发明专利]一种可变光路的光学显微镜检测设备在审

专利信息
申请号: 201810179729.8 申请日: 2018-03-05
公开(公告)号: CN108267461A 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 许孟凯;陈胜男;林张鸿;邱文宗;林伟铭;陈智广;吴淑芳 申请(专利权)人: 福建省福联集成电路有限公司
主分类号: G01N21/958 分类号: G01N21/958
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 林祥翔;徐剑兵
地址: 351117 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开一种可变光路的光学显微镜检测设备,包括第一发光单元、第二发光单元、半反射镜、物镜单元和载物台机构。通过第一发光单元和第二发光单元提供不同波长的可变光,进而在光路引导单元中形成两个方向相反的光路,通过切换光路的照射方向,使得检测设备可呈现出生物显微镜和金相显微镜的功能,进而对不同的铟锡氧化物进行检测。而人们通过观测机构就可以对铟锡氧化物进行检测,由于铟锡氧化物对红外光不透光的特性,通过可变光源的红外光来源以及红外光光致荧光呈相机构,更准确的检测出铟锡氧化物的产品。
搜索关键词: 铟锡氧化物 发光单元 红外光 光学显微镜检测 可变光路 光路 检测 光路引导单元 金相显微镜 生物显微镜 载物台机构 半反射镜 方向相反 观测机构 检测设备 可变光源 物镜单元 照射方向 不透光 可变光 波长 荧光
【主权项】:
1.一种可变光路的光学显微镜检测设备,其特征在于,包括第一发光单元、第二发光单元、半反射镜、物镜单元和载物台机构;所述第一发光单元与第二发光单元相对设置,载物台机构的载物平台上的通光孔位于第一发光单元的光路上,以及载物台机构的载物平台上的通光孔也位于第二发光单元的光路上,物镜单元的入射端对准载物台的通光孔,所述半反射镜的反射面朝向物镜单元的出射端设置,所述物镜单元是具有红外光致荧光呈现功能的物镜;载物台机构用于接收第一发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔开启,以及载物台机构用于接收第二发光单元的光束时载物台机构的载物平台上的通光孔闭合。
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