[发明专利]直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法

摘要

一种直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法，其特殊之处是步骤1：将硅晶体原料加入到坩埚中融化，形成稳定流动的熔体；步骤2：进行引细径操作，直径为4‑5mm，长度在200‑300mm；步骤3：进行放大，到达目标直径时，进行等径操作，至晶体重量达到设定目标值时即坩埚内残留重量为总投料量的4％‑40％；步骤4：进行收尾操作，通入氩气，控制压力为1‑10KPa，设置：0.5rpm＜晶转≤10rpm，埚转设置为0‑15rpm，对晶体的生长速度和坩埚上升速度进行相应控制；步骤5：收尾结束，晶体脱离液体后，进入冷却环节，直至取出单晶。有益效果是：快速简洁，利用硅棒在溶液内驻留一段时间，让内部进行生长，实现快速收尾，可以使拉晶成功率达到90％以上，大大缩短生产时间，提高生产效率。

主权项

1.一种直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法，其特征是：步骤如下：步骤1：将一定重量的硅晶体原料加入到坩埚中融化，形成稳定流动的熔体；步骤2：进行引细径操作，晶体直径为3‑5mm、长度为200‑300mm；步骤3：进行放大，达到目标直径时，进行等径操作，直至晶体重量达到设定目标值时即坩埚内残留重量为总投料量的4％‑40％，进入下一步操作；步骤4：进行收尾操作，通入氩气，控制压力为1‑10KPa，设置：0.5rpm＜晶转≤10rpm，埚转设置为0‑15rpm，对晶体的生长速度和坩埚上升速度进行以以下控制：步骤4.1晶体生长速度为0.15‑0.75mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0‑0.2倍，生长时间1－8min，晶体长度L＝0.15‑6mm；步骤4.2晶体生长速度为0.05‑0.45mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0‑0.3倍，生长时间1‑6min，晶体长度L＝0.05‑2.7mm；步骤4.3晶体生长速度为0.1‑0.55mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0‑0.4倍，晶体生长时间1‑10min，晶体长度L＝0.1‑5.5mm；步骤4.4晶体生长速度设为0.15‑0.75mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0‑0.3倍，晶体生长时间1‑8min，晶体长度L＝0.15‑6mm；步骤4.5晶体生长速度为0.1‑0.55mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0‑0.03倍，晶体生长时间1‑10min，晶体长度L＝0.1‑5.5mm；步骤4.6晶体生长速度为0.05‑0.3mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0‑0.05倍，晶体生长时间为1‑15min，晶体长度L＝0.05‑4.5mm；步骤4.7晶体生长速度和坩埚上升速度为0mm/min，晶转速度以0.01‑0.1转/min的速率下降,直至降到1转，晶体生长时间为29‑123min；步骤5：收尾结束，晶体脱离液体后，进入冷却环节，直至取出单晶。