[发明专利]一种光阻胶供给系统及涂布机有效
申请号: | 201810099599.7 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN108187979B | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 郭婷婷;秦培培;聂慧;冷荣军;韩双;桂伟;李萌萌 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种光阻胶供给系统及涂布机。该光阻胶供给系统包括设置在光阻胶容器与涂布机喷嘴之间的管路上的热交换装置。该光阻胶供给系统,当管路中的光阻胶流经热交换装置时,光阻胶与热交换装置中的热量产生热交换,使得光阻胶的温度上升。该光阻胶供给系统,参与热交换的光阻胶不再局限于位于光阻胶容器外表面处的光阻胶,而是光阻胶容器中的光阻胶均流通经过热交换装置进行热交换,扩大了光阻胶与热源的热交换面积,保证了光阻胶的升温效果,提升了光阻胶的升温处理效率,缩短了光阻胶的升温处理时间,提高了生产率。本发明还公开了包括该光阻胶供给系统的涂布机。 | ||
搜索关键词: | 一种 光阻胶 供给 系统 涂布机 | ||
【主权项】:
1.一种涂布机的光阻胶供给系统,其特征在于,所述光阻胶供给系统包括设置在光阻胶容器与涂布机喷嘴之间的管路上的热交换装置。
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