[发明专利]具有软支撑结构的MEMS压电扬声器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810081203.6 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN110087173A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李俊红 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有软支撑结构的MEMS压电扬声器及其制备方法。其中，该MEMS压电扬声器包括：基底，其中央区域为空心区域；复合介质膜层，位于基底的上方，内部包含一环形槽，该环形槽位于空心区域的上方；压电单元，位于环形槽内侧的复合介质膜层的上方；以及软支撑膜层，覆盖于环形槽上方；其中，位于环形槽的内侧的复合介质膜层、压电单元以及软支撑膜层构成具有软支撑结构的复合压电振动膜。该具有软支撑结构的MEMS压电扬声器的振动膜应力得到释放，工作时振动幅度大，具有较高的灵敏度、且制备工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 软支撑结构 压电扬声器 环形槽 复合介质膜 空心区域 压电单元 软支撑 基底 膜层 制备 环形槽上方 压电振动膜 振动幅度 制备工艺 中央区域 灵敏度 振动膜 复合 释放 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种具有软支撑结构的MEMS压电扬声器，包括：基底，其中央区域为空心区域；复合介质膜层，位于基底的上方，内部包含一环形槽，该环形槽位于所述空心区域的上方；压电单元，位于环形槽内侧的复合介质膜层的上方；以及软支撑膜层，覆盖于环形槽上方；其中，位于环形槽的内侧的复合介质膜层、压电单元以及软支撑膜层构成具有软支撑结构的复合压电振动膜。
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