[发明专利]一种哈特曼波前传感器自动对准方法有效
| 申请号： | 201810071020.6 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108287025B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 杨泽平;李恩德;凡木文;施宁平;魏凌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种哈特曼波前传感器自动对准装置和方法，将哈特曼波前传感器固定到一个带有三维平移和二维倾斜调整的五维的电动调整架上，通过获取光瞳在哈特曼波前传感器上的斜率和有效性信息，计算调节量并控制调整架控制器调节电动调整架，实现哈特曼波前传感器的自动对准。本装置和方法简单、稳定、易实现，能直观实时的显示调整过程和结果，从而降低了对使用人员的要求，减少了调节时间，提高了哈特曼波前探测器的自动化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 哈特曼波前传感器 自动对准装置 电动调整 哈特曼波前探测器 控制器调节 有效性信息 控制调整 倾斜调整 三维平移 显示调整 自动对准 二维 光瞳 五维 直观 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种哈特曼波前传感器自动对准方法，利用哈特曼波前传感器自动对准装置，包括哈特曼波前传感器(1)、五维电动调整架(2)、调整架控制器(3)和计算机(4)，五维电动调整架(2)能够X、Y、Z三维的平移调整和绕X、Y轴的二维旋转调节，即X、Y方向的倾斜，哈特曼波前传感器(1)固定在五维电动调整架(2)上，计算机(4)通过获取光瞳在哈特曼波前传感器(1)上的斜率和有效性信息，计算调节量并控制调整架控制器(3)调节五维电动调整架，实现哈特曼波前传感器(1)的自动对准，其特征在于，包括自动对准的步骤如下：/n1)将固定在五维电动调整架(2)上的哈特曼波前传感器(1)放置到待测量光的合适位置，在X方向与Y方向，使待测量光照射到哈特曼波前传感器(1)上，并在Z方向使哈特曼波前传感器在待测量波前的共轭位置；/n2)令哈特曼波前传感器(1)的子孔径有N行，M列，x(m,n),y(m,n),m＝1,2,3,...,M,n＝1,2,3,...N分别为哈特曼波前传感器(1)坐标为(m,n)的子孔径的X和Y方向中心位置，位于哈特曼波前传感器(1)定义的光轴处的子孔径的x(m,n)和y(m,n)均为0；计算机(4)读取哈特曼波前传感器(1)的所有子孔径的斜率和有效性信息S
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