[发明专利]探针卡装置及矩形探针

摘要

本发明公开一种探针卡装置及一种矩形探针。矩形探针包含金属针体、绝缘膜及绝缘卡榫。金属针体包含连接部、针测部及位于连接部与针测部间的中间段。绝缘膜包覆于整个中间段的外表面。绝缘卡榫呈环形且围绕于至少部分的绝缘膜外，绝缘卡榫的底缘邻近于针测部，绝缘卡榫的长度不大于绝缘膜的长度，并且绝缘卡榫的厚度大于绝缘膜的厚度且为10微米以上。借此，所述矩形探针能够在不影响金属针体的电流传导特性的前提下，有效地提升金属针体的机械强度及提供金属针体较佳的缓冲效果。

主权项

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一第一导板，形成有多个第一贯孔；一第二导板，形成有位置分别对应于多个第一贯孔的多个第二贯孔，并且每个所述第二贯孔的孔径小于相对应的所述第一贯孔的孔径；以及多个矩形探针，一端分别穿出多个所述第一贯孔，另一端分别穿出多个所述第二贯孔；其中，每个所述矩形探针包含：一金属针体，包含有一连接部、一针测部及位于所述连接部与所述针测部间的一中间段；其中，所述连接部与所述针测部分别穿出相对应的所述第一贯孔与相对应的所述第二贯孔，并且所述中间段位于所述第一导板与所述第二导板间；一绝缘膜，包覆于整个所述中间段的外表面；及一绝缘卡榫，呈环形且围绕于至少部分的所述绝缘膜外，所述绝缘卡榫的长度不大于所述绝缘膜的长度，所述绝缘卡榫的厚度大于所述绝缘膜的厚度且为10微米以上；所述绝缘卡榫能穿过相对应的所述第一贯孔，并且所述绝缘卡榫的底缘邻近于所述针测部与相对应的所述第二贯孔；其中，当所述绝缘卡榫正投影于所述第二导板而形成有一环形投影区域时，相对应的所述第二贯孔的边缘是落在所述环形投影区域的内边缘与外边缘间。