[发明专利]一种柔性的MEMS双电层电容压力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种柔性的MEMS双电层电容压力传感器及其制备方法，所述传感器包括微腔体，测量电极，参考电极，引出线，所述参考电极或所述测量电极与所述电解质溶液接触表面的正负离子层形成的电容即称为双电层电容，所述电解质溶液与所述测量电极接触面积变化即双电层电容值变化。利用双电层电容测量液体环境的压力值及改变量；液体环境压力发生变化时，进入微腔体内的电解质溶液体积随微腔体内微气泡体积变化而变化，测得进入微腔体内电解质溶液体积变化即可求得环境压力。本发明结构紧凑、尺寸小、灵敏度高、工艺简单且生物兼容性良好，可用于植入体内的压力测量。

主权项

1.一种柔性的MEMS双电层电容压力传感器，其特征在于，包括：微腔体，位于第一薄膜、第二薄膜之间，所述微腔体的底部为所述第一薄膜的一部分，所述微腔体的上部为所述第二薄膜的一部分，所述微腔体的一端封闭、另一端开口，在所述微腔体的开口端侧面形成至少两个微通道，所述微腔体在浸入电解质溶液中后，所述电解质溶液从所述开口端进入所述微腔体并阻止所述微腔体内气体逸出；测量电极，用于测量所述电解质溶液与气体界面位置，位于所述微腔体内并位于所述第一薄膜之上；参考电极，位于所述微腔体外并位于所述第一薄膜之上；至少一对引出线，用于分别连接所述测量电极、所述参考电极；所述参考电极或所述测量电极与所述电解质溶液接触表面的正负离子层形成的电容即称为双电层电容，所述电解质溶液与所述测量电极接触面积变化即双电层电容值变化。