[发明专利]一种毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法

摘要

一种毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法，先将甲苯溶液涂覆在黑色亚克力板表面，制得表面覆盖有MMA薄膜的第一样片，将第一样片安装于三维工作台上，使得飞秒激光器发射出的激光经物镜垂直照射在第一样片的黑色亚克力板表面上，制得具有微米结构透镜的第二样片；再将PDMS旋涂在第二样片上，制得具有微米结构的反模具，利用气压辅助成形方法实现微米结构阵列的曲面化，制得毫微二级复合结构的第三样片；在第三样片表面溅射ZnO得到第四样片，将其放入六甲基四胺溶液和硝酸锌溶液的混合溶液中，水浴得到第五样片；最后将第五样片清洗烘干，实现毫微纳三级结构的复眼透镜的制造，本发明减小纳米结构的变形，保证了结构的完整性，提高了效率。

主权项

1.一种毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将质量分数为15％‑25％的PMMA甲苯溶液涂覆在黑色亚克力板表面，于常温下自然挥发8h，制得表面覆盖有厚度为50μm的PMMA薄膜的第一样片；2)将第一样片安装于三维工作台上，搭建激光加工光路，使得飞秒激光器发射出的激光经物镜垂直照射在第一样片的黑色亚克力板表面上，设定飞秒激光器重复频率为1kHz，功率为15mW，脉冲数为1000，制造得具有微米结构透镜的第二样片；3)将PDMS旋涂在第二样片上，旋涂速度为600rad/s,旋涂20s，制得厚度为300μm具有微米结构的反模具；4)使用反模具，利用气压辅助成形方法实现微米结构阵列的曲面化，制得毫微二级复合结构，即第三样片；5)在第三样片表面溅射厚度为50nm的ZnO得到第四样片，将7g六甲基四胺和14.87g硝酸锌分别溶于500ml的去离子水中，搅拌20分钟，然后将六甲基四胺溶液倒入硝酸锌溶液中，混合搅拌15分钟，将第四样片放入混合溶液中，放入90℃水浴锅中水浴20分钟，得到第五样片；6)将第五样片用去离子水清洗2分钟，放在60℃的烘台上50分钟，实现毫微纳三级结构的复眼透镜的制造。