[发明专利]一种MEMS同轴滤波器和制作方法有效
| 申请号： | 201780095197.3 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111133628B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 梅迪;朱其玉 | 申请（专利权）人： | 上海诺基亚贝尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/207 | 分类号： | H01P1/207 |
| 代理公司： | 北京启坤知识产权代理有限公司 11655 | 代理人： | 赵晶 |
| 地址： | 201206 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种MEMS同轴滤波器和制作方法。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS同轴滤波器，其特征在于，所述MEMS同轴滤波器包括：两面抛光的结构层圆片；由金属壁或金属化通孔实现电壁的硅介质腔体；由金属化盲孔实现的内部同轴结构。本发明具有以下优点：通过利用MEMS技术在硅片上制作同轴滤波器，结合了MEMS技术、同轴谐振器结构和SIW技术的优势，相较于现有的金属波导滤波器或SIW滤波器，根据本发明的实施例的MEMS同轴滤波器极大地减小了毫米波滤波器的尺寸并降低了成本，并且具有较高的加工精度，简化了毫米波滤波器的生产时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 同轴 滤波器 制作方法 | ||
【主权项】：
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