[发明专利]膜下缺陷检测方法及膜下缺陷检测设备在审
| 申请号： | 201780092090.3 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN110741246A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 洪日;周振华;赵云飞;刘瑶 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G02F1/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种膜下缺陷检测方法及膜下缺陷检测设备(100)，膜下缺陷检测方法包括步骤：通过光学显微镜(10)对被检测物(Y)进行检测，确定被检测物(Y)的缺陷的第一坐标信息(S10)；根据光学显微镜(10)与扫描装置(20)及切割装置(30)的位置关系和第一坐标信息，确定被检测物(Y)的缺陷与扫描装置(20)的第二坐标信息，及确定被检测物(Y)的缺陷与切割装置(30)的第三坐标信息(S20)；及根据第三坐标信息，控制切割装置(30)对被检测物(Y)进行切割，及根据第二坐标信息，控制扫描装置(20)对切割后的被检测物(Y)的缺陷进行扫描(S30)。 | ||
| 搜索关键词： | 被检测物 坐标信息 光学显微镜 切割装置 缺陷检测 扫描装置 切割 控制切割装置 控制扫描装置 缺陷检测设备 扫描 检测 | ||
【主权项】：
一种膜下缺陷检测方法，其特征在于，包括步骤：/n通过光学显微镜对被检测物进行检测，确定所述被检测物的缺陷的第一坐标信息；/n根据所述光学显微镜与扫描装置及切割装置的位置关系和所述第一坐标信息，确定所述被检测物的缺陷与所述扫描装置的第二坐标信息，及确定所述被检测物的缺陷与所述切割装置的第三坐标信息；及/n根据所述第三坐标信息，控制所述切割装置对所述被检测物进行切割，及根据所述第二坐标信息，控制所述扫描装置对切割后的所述被检测物的缺陷进行扫描。/n
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