[发明专利]用于分析测量-良率相关性的方法和系统有效

专利信息
申请号: 201780063057.8 申请日: 2017-08-07
公开(公告)号: CN109844779B 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 洪兑荣;李炳敏;金成太 申请(专利权)人: SK株式会社
主分类号: G06Q10/06 分类号: G06Q10/06;G06Q10/04;G06F17/18;G06Q50/04
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 王凯霞;张川绪
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种用于分析测量‑良率相关性的方法和系统。根据本发明的实施例的用于分析测量‑良率相关性的方法通过使用作为在执行工艺之后测量的工艺结果数据和针对每个收集的工艺结果数据的实际良率数据的数据对的测量‑良率数据,得到第一良率预测函数;通过使用第一良率预测函数提取测量‑良率数据中的一些;随后通过使用提取的测量‑良率数据得到第二良率预测函数。这样,可得到指示高相关性/可靠性的测量‑良率相关性,使得可从在执行工艺之后测量的工艺结果数据相对精确地预测最终良率。
搜索关键词: 用于 分析 测量 相关性 方法 系统
【主权项】:
1.一种测量‑良率相关性分析方法,包括:收集在工艺被执行之后测量的工艺结果数据的步骤;收集关于每个收集的工艺结果数据的实际良率数据的步骤;通过使用作为测量的工艺结果数据和实际良率数据的数据对的测量‑良率数据得到第一良率预测函数的第一得到步骤;通过使用第一良率预测函数提取测量‑良率数据的一部分的步骤;通过使用提取的测量‑良率数据得到第二良率预测函数的第二得到步骤。
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