[发明专利]压力式流量控制装置、其流量算出方法以及流量控制方法

摘要

本发明提供一种压力式流量控制装置(1)，在将流孔(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，构成混合气体的两种气体的混合比为X:(1‑X)，使用以混合比率对两种气体的密度、比热比以及气体常数进行加权而算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ以及平均气体常数R，通过FF＝(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ‑1)[κ/{(κ+1)R}]1/2算出混合气体的流量系数FF，将流孔截面积设为S、流孔的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2算出通过流孔的混合气体的流量Q。

主权项

1.一种压力式流量控制装置，在将流孔的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，根据流量系数FF算出通过所述流孔的混合气体的流量Q，其特征在于，所述混合气体由第一气体和第二气体构成，所述第一气体与所述第二气体的混合比为第一气体:第二气体＝X:(1‑X)，所述压力式流量控制装置具备：第一运算单元，使用所述第一气体的密度ρ(A)、所述第二气体的密度ρ(B)、所述第一气体的比热比κ(A)、所述第二气体的比热比κ(B)、所述第一气体的气体常数R(A)以及所述第二气体的气体常数R(B)，通过ρAV＝X·ρ(A)+(1‑X)·ρ(B)、κAV＝X·κ(A)+(1‑X)·κ(B)以及RAV＝X·R(A)+(1‑X)·R(B)计算所述混合气体的平均密度ρAV、平均比热比κAV以及平均气体常数RAV；第二运算单元，将k设为常数，使用所述平均密度ρAV、所述平均比热比κAV以及所述平均气体常数RAV，通过算出所述混合气体的流量系数FF；以及第三运算单元，使用所述混合气体的流量系数FF，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2(其中，流孔截面积S、所述流孔的上游侧的气体温度T1)算出从所述流孔输出的所述混合气体的流量Q。