[发明专利]用于确定表面形状偏差的方法、表面评估系统

摘要

本发明涉及一种用于基于测得的实际表面区段的位于测量点延伸区段(M)中的测量点的垂直信息来确定真实实际表面的形状偏差的方法，所述方法使用评估区段，它们相互错开地设置并且整体上在测量点延伸区段(M)上延伸并且包括多次迭代，它们分别具有下述步骤：(a)对于每个评估区段的多个测量点中的每个测量点确定最大垂直距离，该最大垂直距离是每两个测量点之间沿预定垂直方向的最大距离，(b)确定评估区段斜率，其是评估区段最低点和评估区段最高点之间的连接直线，在下一方法步骤中，将在多次迭代中为其相应评估区段分别确定的最大垂直距离和评估区段斜率的值对分配给极限标准。本发明还涉及表面评估系统和计算机程序产品。

主权项

1.用于基于测得的位于实际表面上的一个测量点(P)组中的各测量点(P)的垂直信息来评估真实实际表面的实际表面区段(S1)与目标表面区段的形状偏差的方法，所述测量点(P)组位于实际表面区段(S1)的定义测量点位置的测量点延伸区段(M1)中，所述方法对于一个评估区段组合分别使用至少一次迭代，这些评估区段在实际表面区段中至少局部地分布在测量点延伸区段(M1)上并且相互错开地设置，其中，每次迭代包括下述步骤：(a)对于每个评估区段的多个测量点中的每个测量点确定最大垂直距离，该最大垂直距离是每两个测量点之间沿预定垂直方向的最大距离，其中，垂直方向横向于测量点延伸区段(M1)延伸并且最大垂直距离分别出现在评估区段最低点(P1)和评估区段最高点(P2)之间；(b)确定评估区段斜率，该评估区段斜率基于最大垂直距离相对于在评估区段最低点和评估区段最高点之间在其到目标表面区段上的投影中的距离在评估区段最低点和评估区段最高点之间具有连接直线，该目标表面区段是实际表面区段的理想模型，在另一方法步骤中，将在所述至少一次迭代中为其相应评估区段分别确定的、最大垂直距离和评估区段斜率的值对分配给极限标准。