[实用新型]一种溅射镀膜设备用真空计校正仪有效
| 申请号： | 201721880063.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN207675368U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 管信;于潮;陶晓军;张俊 | 申请（专利权）人： | 山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 淄博佳和专利代理事务所 37223 | 代理人： | 商晓 |
| 地址： | 255086 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种溅射镀膜设备用真空计校正仪，属于光伏技术设备领域。包括标准真空计、溅射镀膜设备用真空计、校准室、分子泵、机械泵、第一模拟数字转换器和第二模拟数字转换器，校准室设置多个端口并分别连接供气系统、标准真空计、溅射镀膜设备用真空计和分子泵，标准真空计连接第一模拟数字转换器，溅射镀膜设备用真空计连接第二模拟数字转换器，分子泵与机械泵连接，其特征在于：还包括微调针阀、真空阀门和微调针阀，所述的供气系统与校准室之间设置微调针阀，所述的机械泵与分子泵共同连接在校准室的同一端口，机械泵和分子泵之间设置真空阀门。具有操作简单、对校准室抽气更彻底并精准控制供气系统流量的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射镀膜设备 分子泵 真空计 模拟数字转换器 机械泵 校准室 标准真空计 供气系统 微调针阀 真空阀门 校正仪 技术设备 精准控制 同一端口 抽气 光伏 | ||
【主权项】：
1.一种溅射镀膜设备用真空计校正仪，包括标准真空计（7）、溅射镀膜设备用真空计（12）、校准室、分子泵（4）、机械泵（1）、第一模拟数字转换器（6）和第二模拟数字转换器（13），校准室设置多个端口并分别连接供气系统、标准真空计（7）、溅射镀膜设备用真空计（12）和分子泵（4），标准真空计（7）连接第一模拟数字转换器（6），溅射镀膜设备用真空计（12）连接第二模拟数字转换器（13），分子泵（4）与机械泵（1）连接，其特征在于：所述的供气系统与校准室之间设置微调针阀（10），所述的机械泵（1）与分子泵（4）共同连接在校准室的同一端口，机械泵（1）和分子泵（4）之间设置真空阀。
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