[实用新型]一种用于中心性检查的系统有效
| 申请号： | 201721870833.9 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN207570523U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 郑荣 | 申请（专利权）人： | 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司 |
| 主分类号： | G01B21/24 | 分类号： | G01B21/24;G01L5/00;G01R35/02 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 钟胜光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于中心性检查的系统，其包括：多个测试设备，每一个测试设备包括底座和测试头，其中，在对所述多个测试设备中的任一测试设备的测试头做中心性检查时多个测试盘的其中一个测试盘被放置在该任一测试设备的底座上并与该任一测试设备的测试头接触，以及，其中该多个测试盘中的每一个测试盘在其上多个不同的测试点处具有压力传感器；控制器，用于当接收到该多个测试盘各自的压力传感器的压力感测值时，基于所接收的该多个测试盘各自的压力传感器的压力感测值以及该多个测试盘各自的位置偏移值和压力标准值来检查该多个测试设备各自的测试头的中心性是否正确。该系统能够提高测试设备的测试头的中心性的检查的速度和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 测试设备 测试盘 测试头 中心性 压力传感器 压力感测 检查 底座 本实用新型 位置偏移 压力标准 控制器 测试点 | ||
【主权项】：
1.一种用于中心性检查的系统，其特征在于，包括：多个测试设备，每一个测试设备包括底座和可上下移动的测试头，其中，在对所述多个测试设备中的任一测试设备的所述测试头做中心性检查时多个测试盘的其中一个测试盘被放置在所述任一测试设备的所述底座上并与所述任一测试设备的所述测试头接触，以及，其中所述多个测试盘中的每一个测试盘在其上多个不同的测试点处具有压力传感器；以及控制器，用于当接收到所述多个测试盘各自的压力传感器的压力感测值时，基于所接收的所述多个测试盘各自的压力传感器的压力感测值以及所述多个测试盘各自的位置偏移值和压力标准值来检查所述多个测试设备各自的所述测试头的中心性是否正确，其中，所述多个测试盘各自的位置偏移值和压力标准值是从预先存储的各个测试盘的位置偏移值和压力标准值中检索的，所述多个测试盘中的任一测试盘的位置偏移值是指当所述任一测试盘被放置在测试设备上时所述任一测试盘的中心相对于该测试设备的测试头的中心的位置偏移量，以及，所述任一测试盘的压力标准值是指在测试设备的测试头的中心性正确的情况下当该测试设备的测试头接触所述任一测试盘时所述任一测试盘上的各个压力传感器的压力感测值。
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