[实用新型]一种基板清洗装置有效
| 申请号： | 201721713235.0 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN207981685U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 邱雨 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种基板清洗装置，涉及清洗装置技术领域。该装置包括机壳及设置于机壳外的电机和设置于机壳内的用于清洗基板的清洗机构，电机的主动轴与从动轴之间设置有连接装置，连接装置包括第一连接件和第二连接件，第一连接件与电机的主动轴固定并置于机壳外，第二连接件与从动轴固定并置于机壳内，第一连接件与第二连接件之间非接触传动。本实用新型公开的基板清洗装置避免机壳在连接处开设孔洞，解决了现有技术中水雾或者液滴从机壳内流出的技术问题，保证电机所处环境干燥，提高电机的可靠性，同时解决了外部的微尘或杂质进入机壳的问题，避免了污染基板的清洗环境。 | ||
| 搜索关键词： | 电机 基板清洗装置 第二连接件 第一连接件 本实用新型 连接装置 从动轴 主动轴 孔洞 环境干燥 清洗基板 清洗机构 清洗装置 污染基板 非接触 传动 水雾 微尘 液滴 清洗 流出 外部 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗装置，包括机壳(6)及设置于所述机壳(6)外的电机(1)和设置于机壳(6)内的用于清洗基板(4)的清洗机构，其特征在于，所述电机(1)的主动轴(11)与从动轴(2)之间设置有连接装置(7)，所述连接装置(7)包括第一连接件(71)和第二连接件(72)，所述第一连接件(71)与所述电机(1)的主动轴(11)固定并置于所述机壳(6)外，所述第二连接件(72)与所述从动轴(2)固定并置于所述机壳(6)内，所述第一连接件(71)与所述第二连接件(72)之间非接触传动。
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