[实用新型]一种弹夹式等离子真空处理箱体

摘要

本实用新型公开了一种弹夹式等离子真空处理箱体，包括真空箱体，真空箱体的前端安装有固定框，真空箱体的上端接入电极馈入件，所述真空箱体设有用于安装产品的弹夹料盒，以及用于放置两个弹夹料盒的弹夹料盒放置结构，本实用弹夹式等离子真空处理箱体通过圆孔极板和柱状电极柱混合使用，来提高真空箱室内等离子体均匀性；外部馈入式电极结构，有效的改善了极板电量均匀性，使真空箱室内等离子体分布更均匀，更具流通性，达到弹夹料盒内每层产品都能有效地处理到，提高处理效果和处理均匀性，避免了因烧板和处理不到而造成的经济损失，从而减少生产成本。 1

主权项

1.一种弹夹式等离子真空处理箱体，包括真空箱体(1)，真空箱体(1)的前端安装有固定框(2)，真空箱体(1)的上端接入电极馈入件(3)，其特征在于：所述真空箱体(1)设有用于安装产品的弹夹料盒(4)，以及用于放置两个弹夹料盒(4)的弹夹料盒放置结构，所述弹夹料盒放置结构由支撑座(5)、绝缘滑道(6)、极板(7)、连接件(8)、以及圆柱形电极(9)组成，所述绝缘滑道(6)设置在支撑座(5)上，用于放置弹夹料盒(4)，支撑座(5)的两侧设有若干圆柱形电极(9)，中间设置极板(7)，所述极板(7)和圆柱形电极(9)的上端通过连接件(8)与电极馈入件(3)连接。

2.根据权利要求1所述的一种弹夹式等离子真空处理箱体，其特征在于：所述极板(7)为孔状极板。

3.根据权利要求1所述的一种弹夹式等离子真空处理箱体，其特征在于：所述圆柱形电极(9)与连接件(8)之间设有陶瓷绝缘件(10)，且连接件(8)与电极馈入件(3)之间也设有绝缘件(11)。