[实用新型]一种用于圆形基片夹持的工装有效
| 申请号： | 201721302160.7 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN207373021U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 单海洋;赵毅;董洪成;王金洞;景敏娟;彭勇林 | 申请（专利权）人： | 北京航天时代激光导航技术有限责任公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 任林冲 |
| 地址： | 100094 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于圆形基片夹持的工装，包括夹持本体和环带，夹持本体为带有弹性回复功能的夹持结构，在夹持本体的底部内侧固定连接环带，用于对圆形基片外圆的夹持。通过环带夹持在基片外圆上，避开了直接与基片倒角的接触，能够有效避免基片倒角崩边问题，同时环带与基片外圆的面接触，更有利于基片的夹持，防止脱落引起的二次污染或损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 圆形 夹持 工装 | ||
【主权项】：
1.一种用于圆形基片夹持的工装，基片为圆柱形，其特征在于，包括夹持本体(1)和环带(2)，夹持本体(1)为带有弹性回复功能的夹持结构，在夹持本体(1)的底部内侧固定连接环带(2)，用于对圆形基片外圆的夹持；夹持本体(1)自然状态下张开的直线距离大于圆形基片的直径，环带(2)的曲率半径与圆形基片的半径相同；环带(2)的弧长不大于圆形基片周长的1/2。
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