[实用新型]一种半导体设备粉尘去除装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体设备粉尘去除装置，其结构包括电机、集尘箱、支撑杆、粉尘感应器、除尘器主体、导管、控制箱、接线槽、机箱，所述机箱为外壁硬实且两侧表面相等且的长方体结构，内侧表面底部与集尘箱底部表面采用过盈配合方式活动连接且构成回字型，机箱高度为80cm。本实用新型设有粉尘感应器，按下按钮使感应器主体接通电能，使执行器通过驱动板控制粉尘探测器对半导体设备的粉尘进行检测，经电路板传递到感应器主体上带动处理器对探测数据处理，感应器主体通过执行器控制指示灯点亮，及时操作除尘器主体进行除尘，避免影响半导体设备的使用效果，提高除尘效率。

主权项

1.一种半导体设备粉尘去除装置，其结构包括电机(1)、集尘箱(2)、支撑杆(3)、粉尘感应器(4)、除尘器主体(5)、导管(6)、控制箱(7)、接线槽(8)、机箱(9)，所述机箱(9)为外壁硬实且两侧表面相等且的长方体结构，内侧表面底部与集尘箱(2)底部表面采用过盈配合方式活动连接且构成回字型，机箱(9)高度为80cm，所述除尘器主体(5)为两侧表面相等且内侧中空的圆柱体结构，侧方表面设在导管(6)侧方表面末端且构成凸型，除尘器主体(5)直径为12cm-13cm，其特征在于：所述机箱(9)内侧表面底部与集尘箱(2)底部表面采用过盈配合方式活动连接，机箱(9)长度为1.2m，所述集尘箱(2)为外壁硬实且内部中空的长方体结构，侧方表面设在导管(6)侧方表面且相互垂直，集尘箱(2)外壁厚度为20mm-35mm，所述控制箱(7)为两侧表面相等且侧方顶部内凹的凹型，机箱(9)侧方表面上方设有控制箱(7)侧方表面且处于同一水平，控制箱(7)宽度为7cm，所述除尘器主体(5)侧方表面与导管(6)侧方表面末端采用过盈配合方式活动连接且相互垂直，除尘器主体(5)长度为26cm，所述导管(6)为外壁柔软且内部中空的圆柱体结构，侧方表面设在机箱(9)侧方表面，导管(6)长度为1.8m-2.1m，所述支撑杆(3)为内外硬实且相互平行的圆柱体结构，除尘器主体(5)底部表面边沿设有支撑杆(3)顶部表面且构成三角形，支撑杆(3)高度为2.2m，所述粉尘感应器(4)底部表面设在除尘器主体(5)底部表面边沿中央且相互垂直；所述粉尘感应器(4)由粉尘探测器(401)、外壳(402)、驱动板(403)、电路板(404)、执行器(405)、感应器主体(406)组成，所述粉尘探测器(401)为两侧表面相等且相互平行的椭圆形，外侧表面与外壳(402)顶部表面中央采用过盈配合方式活动连接且构成凸型，粉尘探测器(401)长度为7cm，所述外壳(402)两侧表面相等且顶部凸起的凸型，底部表面设在除尘器主体(5)底部表面边沿中央，外壳(402)高度为14cm-16cm，所述驱动板(403)为内外硬实且相互平行的长方体结构，电路板(404)顶部表面设有驱动板(403)底部表面且相互垂直，驱动板(403)高度为6cm，所述电路板(404)为内外硬实且相互平行的长方体结构，底部表面与外壳(402)内侧底部表面采用过盈配合方式活动连接且相互平行，电路板(404)厚度为30mm-40mm，所述执行器(405)底部表面设在电路板(404)顶部表面边沿且相互垂直，执行器(405)长度为4.5cm，所述感应器主体(406)为两侧表面相等且相互平行的长方体结构，电路板(404)顶部表面设有感应器主体(406)底部表面且构成凸型，感应器主体(406)长度为8cm-9cm。