[实用新型]一种弯管容器型空气过滤装置

摘要

本实用新型提供了一种弯管容器型空气过滤装置，涉及空气过滤领域。弯管容器型空气过滤装置包括第一单向阀、过滤器、第二单向阀、加湿器以及导管。过滤器包括弯管容器以及设置在弯管容器内的铁粉，加湿器包括锥形容器以及安装在锥形容器上的进气管和出气管，锥形容器内装有水。第一单向阀的进口用于与空气气源连通，第一单向阀的出口连接在弯管容器的进气口，第二单向阀的进口连接在弯管容器的出气口，第二单向阀的出口通过导管连接在加湿器的进气管上，加湿器的出气管用于排除空气。弯管容器型空气过滤装置能够有效滤出空气的氧气，避免空气与硅烷混合后使硅烷被氧化，从而避免硅烷不会在设备的通道中凝结。

主权项

一种弯管容器型空气过滤装置，其特征在于，所述弯管容器型空气过滤装置包括第一单向阀、过滤器、第二单向阀、加湿器以及导管；所述过滤器包括弯管容器以及设置在所述弯管容器内的铁粉，所述弯管容器的一端为进气口，所述弯管容器的另一端为出气口；所述加湿器包括锥形容器以及安装在所述锥形容器上的进气管和出气管，所述锥形容器内装有水；所述第一单向阀的进口用于与空气气源连通，所述第一单向阀的出口连接在所述弯管容器的进气口，所述第二单向阀的进口连接在所述弯管容器的出气口，所述第二单向阀的出口通过所述导管连接在所述加湿器的所述进气管上，所述加湿器的所述出气管用于排除空气。