[实用新型]一种薄膜天线

摘要

本实用新型提供了一种薄膜天线，将纳米天线与金属互连线相互整合，实现了纳米天线层的薄膜态。进一步的，利用纳米天线尺寸小和空间集成度高的特点，可以实现多个纳米天线共用的一层纳米天线层；利用恒定图案天线和变换图案天线的变换和排列，实现不同频段天线的集成于一层；进一步的，对纳米天线底部的金属接触线的设置，使得薄膜天线整体结构的纵向高度减小；此外，封闭空腔的设置，提高了纳米天线层的信号利用率；介质梁配合封闭空腔的设置，不仅提高封闭空腔的体积，还提高有利于更多频段天线的集成。本实用新型的薄膜天线及其制备方法，均可以与现有的CMOS工艺相兼容，无需额外增加成本，有利于大规模生产。

主权项

一种薄膜天线，其特征在于，包括：一绝缘衬底层；位于绝缘衬底层中的金属互连线，用于对纳米天线层的信号进行传输；位于绝缘衬底层表面的纳米天线层；其中，纳米天线层底部通过金属接触线与金属互连线连接；位于纳米天线层之间的介质；位于纳米天线层上的覆盖层。