[实用新型]微表压校验系统有效
| 申请号： | 201720945630.5 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN207036345U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 王东平;邱丰 | 申请（专利权）人： | 苏州感芯微系统技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215121 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了微表压校验系统，包括温箱(1)，用于为表压传感器模块(11)提供校验所需的温度；设置在所述温箱(1)内的若干个呈管状结构的防护罩(2)；设置在所述防护罩(2)内的产品测试线路板(3)，所述产品测试线路板(3)上设有若干个芯片槽(3‑1)用于固定表压传感器模块(11)，所述芯片槽(3‑1)的外侧设有与表压传感器模块(11)匹配的探针组(3‑2)，所述探针组(3‑2)经校验总线(10)连接至信号采集器；用于为所述表压传感器模块(11)提供压力并密封所述防护罩(2)一端的加压装置(4)。本实用新型提供的微表压校验系统，可批量校验表压传感器模块，校验精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 微表压 校验 系统 | ||
【主权项】：
微表压校验系统，其特征在于包括：温箱(1)，用于为表压传感器模块(11)提供校验所需的温度；设置在所述温箱(1)内的若干个呈管状结构的防护罩(2)；设置在所述防护罩(2)内的产品测试线路板(3)，所述产品测试线路板(3)上设有若干个芯片槽(3‑1)用于固定表压传感器模块(11)，所述芯片槽(3‑1)的外侧设有与表压传感器模块(11)匹配的探针组(3‑2)，所述探针组(3‑2)经校验总线(10)连接至信号采集器；用于为所述表压传感器模块(11)提供压力并密封所述防护罩(2)一端的加压装置(4)，所述加压装置(4)包括底座(4‑1)和设置在所述底座(4‑1)长度方向一端的侧板(4‑2)，所述底座(4‑1)上设有若干个连接至气源(9)的加压管(4‑6)，所述加压管(4‑6)连接至所述表压传感器模块(11)的气嘴，所述侧板(4‑2)与所述防护罩(2)端部开口相匹配。
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