[实用新型]一种微型磁通门传感器

摘要

本实用新型涉及一种微型磁通门传感器，包括相互键合的第一高阻硅片和第二高阻硅片，第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有铁芯腔，铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔，铁芯腔的一端开口设置，铁芯腔内插设有带材磁芯，自铁芯腔的开口通过填充材料将带材磁芯密封固定在铁芯腔内，第一高阻硅片、第二高阻硅片的外表面上分别蚀刻有与螺线管腔相联通的电极窗口。该微型磁通门传感器可以采用一次成型填充工艺制作螺线管线圈，避免了使用微电镀工艺，不仅有效简化了工艺流程，提高了连接通孔的成功率，而且降低了对环境的污染，缩减了环保成本。

主权项

一种微型磁通门传感器，包括相互键合的第一高阻硅片(1)和第二高阻硅片(2)，所述第一高阻硅片(1)和第二高阻硅片(2)的对合面之间具有铁芯腔(100)，所述铁芯腔(100)的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔(200)，其特征在于：所述铁芯腔(100)的一端开口设置，所述铁芯腔(100)内插设有带材磁芯(101)，自所述铁芯腔(100)的开口通过填充材料将所述带材磁芯(101)密封固定在所述铁芯腔(100)内，所述第一高阻硅片(1)、第二高阻硅片(2)的外表面上分别蚀刻有与所述螺线管腔(200)相联通的电极窗口(300)。