[实用新型]透射测温探测器有效
| 申请号： | 201720924190.5 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN207095731U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 塞缪尔·C·豪厄尔斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种透射测温探测器。所述透射测温探测器包括探测器歧管，所述探测器歧管用以探测来自腔室主体中的处理区附近的辐射；辐射探测器，所述辐射探测器光耦合至所述探测器歧管；和光谱多陷波滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 测温 探测器 | ||
【主权项】：
一种透射测温探测器，其特征在于包括：探测器歧管，所述探测器歧管用以探测来自腔室主体中的处理区附近的辐射；辐射探测器，所述辐射探测器光耦合至所述探测器歧管；以及光谱多陷波滤波器。
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