[实用新型]泡生法单晶炉装置有效
申请号: | 201720781761.4 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN206986328U | 公开(公告)日: | 2018-02-09 |
发明(设计)人: | 吕立强;陈有生 | 申请(专利权)人: | 上海朗兆机电设备有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司31203 | 代理人: | 顾雯 |
地址: | 201415 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及泡生法单晶炉装置,底架底部固定,上部水平面固定反应腔体,底架的侧面固定立柱,立柱与底架的上部水平面相互垂直;立柱上设有旋转装置,旋转装置的伸长端设有提升装置,旋转装置带动提升装置绕立柱转动,提升装置做直线运动,朝向反应腔体;抽真空装置与反应腔体导通,位于底架的侧面,两侧分别放置电源柜和控制柜,抽真空装置和立柱分别位于底架的相对侧。本实用新型方便运输、便于拆装、减少占用空间、缩短安装调整时间、提高效率。 | ||
搜索关键词: | 泡生法单晶炉 装置 | ||
【主权项】:
泡生法单晶炉装置,其特征在于,包括:底架(1),所述底架(1)底部固定,上部水平面固定反应腔体(3),所述底架(1)的侧面固定立柱(2),所述立柱(2)与底架(1)的上部水平面相互垂直;所述立柱(2)上设有旋转装置(4),所述旋转装置(4)的伸长端设有提升装置(5),所述旋转装置(4)带动提升装置(5)绕立柱(2)转动,所述提升装置(5)做直线运动,朝向反应腔体(3);抽真空装置(7),所述抽真空装置(7)与反应腔体(3)导通,位于底架(1)的侧面,两侧分别放置电源柜(6)和控制柜(8),所述抽真空装置(7)和立柱(2)分别位于底架(1)的相对侧。
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