[实用新型]高容差光栅读数头有效
申请号: | 201720755138.1 | 申请日: | 2017-06-27 |
公开(公告)号: | CN206919909U | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 刘红忠;史永胜;尹磊;陈邦道 | 申请(专利权)人: | 常州瑞丰特科技有限公司 |
主分类号: | G01D5/38 | 分类号: | G01D5/38;G01B11/02 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司32234 | 代理人: | 张利强 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高容差光栅读数头,包括指示光栅、反射式主光栅和成像面,入射光照射到反射式主光栅上,在每条线纹反光处发生衍射现象,衍射光与入射光在指示光栅后方的Talbot平面处发生干涉成像得到Talbot成像面,由半导体感光元件接收到信号。本实用新型可以明显提高精密反射式光栅和读数头的安装容差,降低了安装调试的难度,同时也可以保证大行程光栅线位移传感器读数的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 高容差 光栅 读数 | ||
【主权项】:
一种高容差光栅读数头,其特征在于,包括:指示光栅、反射式主光栅和成像面,入射光照射到反射式主光栅上,在每条线纹反光处发生衍射现象,衍射光与入射光在指示光栅后方的Talbot平面处发生干涉成像得到Talbot成像面,由半导体感光元件接收到信号。
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