[实用新型]晶圆切割机清洁水喷雾系统

摘要

本实用新型提供一种晶圆切割机清洁水喷雾系统，该系统包括喷雾装置，喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，第一喷嘴包括喷嘴固定块，喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，喷嘴固定块内设置有喷水套筒，喷嘴固定块连接喷嘴固定套，喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，喷嘴固定套的第二端内固定在连接套，连接套连接喷水套筒，第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，第二喷嘴远离第二出气口的一侧设有喷气口，切割机内设有清洁盘，喷雾口、喷气口朝向清洁盘，采用以上结构，利用喷雾装置喷出的水雾代替传统的水柱对切割机进行清洁，清洗更彻底，喷雾装置不通过高压泵进行取水，因此避免可活塞磨损的情况，无需短期更换，使用寿命更长。

主权项

晶圆切割机清洁水喷雾系统，其特征在于，包括：喷雾装置，所述喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，所述第一喷嘴包括喷嘴固定块，所述喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，所述喷嘴固定块内设置有喷水套筒，所述喷水套筒均与所述出水口、第一出气口连通，所述喷嘴固定块连接喷嘴固定套，所述喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，所述喷嘴固定套的第二端内固定有连接套，所述连接套连接所述喷水套筒，所述喷水套筒、所述连接套与所述喷嘴头相互连通，所述第一喷嘴的第一端设有喷雾口；所述第一出气口连接第一出气管，所述出水口连接出水管，所述第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，所述第二喷嘴远离所述第二出气口的一侧设有喷气口，所述喷气口与所述第二出气口连通，所述第二出气口连接第二出气管，所述第一出气管、所述第二出气管与所述出水管均与气液分离管连接；切割机，所述切割机内设有清洁盘，所述喷雾口和所述喷气口均朝向所述清洁盘；药水管，所述药水管连接所述气液分离管；气体机，所述气体机连接所述气液分离管。