[实用新型]一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器

摘要

本实用新型公开一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器，结构中包括单晶基片、原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜、吸收层、封装层、金属电极，单晶基片为c轴斜切的单晶基片，单晶基片的c轴斜切角度0°<θ<30°，原子层热电堆薄膜沿c轴倾斜外延生长在单晶基片上，在原子层热电堆薄膜上表面相对中心位置对称设置两个金属电极，两个金属电极由导线与电压表输入端连接，铁磁性薄膜生长在单晶基片上并设置在原子层热电堆薄膜的两侧，吸收层覆盖在原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜和金属电极上，封装层覆盖在吸收层上；本实用新型探测器体积小、响应电压峰值大、灵敏度高、响应时间快，能实现宽光谱探测和热辐射探测。

主权项

一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器，其特征在于，结构中包括单晶基片、原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜、吸收层、封装层、金属电极，所述单晶基片为c轴斜切的单晶基片，单晶基片的c轴斜切角度0°<θ<30°，所述原子层热电堆薄膜沿c轴倾斜外延生长在单晶基片上，在原子层热电堆薄膜上表面相对中心位置对称设置两个金属电极，两个金属电极由导线与电压表输入端连接，所述铁磁性薄膜生长在单晶基片上并设置在原子层热电堆薄膜的两侧，所述吸收层覆盖在原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜和金属电极上，所述封装层覆盖在吸收层上。