[实用新型]一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置

摘要

本专利公开了一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置，装置由样品腐蚀单元、自动进液单元、废液回收单元和观察测控单元组成。将样品固定在可进行光学观察的腐蚀槽中，通过自动进液单元实现一种或多种腐蚀液和清洗液的自动注入、动态更新和顺序切换，过程中产生的废液由废液回收单元即时回收，观察测控单元集成了显微镜、CCD相机、测控软件以及存储设备，对材料腐蚀的微观过程进行实时观察、采集、显示和存储。本专利能够实时观察记录材料腐蚀坑从产生到消失的动态过程，能够在固定显微视场下原位完成多步腐蚀清洗工艺，能够实现腐蚀过程中腐蚀液的动态更新，有效提高了工艺的可控性、连续性和稳定性，同时改善了腐蚀效果。

主权项

一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置，由样品腐蚀单元(1)、自动进液单元(2)、废液回收单元(3)和观察测控单元(4)组成，其特征在于：所述样品腐蚀单元(1)由腐蚀槽(1‑1)、主进液管(1‑2)、腐蚀液分进液管(1‑3)、腐蚀液进液阀(1‑4)、清洗液分进液管(1‑5)、清洗液进液阀(1‑6)、排液管(1‑7)、排液阀(1‑8)、密封圈(1‑9)、槽盖(1‑10)和固定螺钉组成，样品腐蚀单元(1)通过分进液管(1‑3，1‑5)与自动进液单元(2)相连接，样品腐蚀单元(1)通过排液管(1‑7)与废液回收单元(3)相连接；所述自动进液单元(2)由腐蚀液储液罐(2‑1)、腐蚀液进液泵(2‑2)、清洗液储液罐(2‑3)以及清洗液进液泵(2‑4)组成，每个进液泵两端通过软管分别与一个储液罐(2‑1，2‑3)和一根分进液管(1‑3，1‑5)相连接，启动自动进液单元(2)可自动将储液罐(2‑1，2‑3)中的腐蚀液和清洗液同时或者顺序注入腐蚀槽(1‑1)；所述废液回收单元(3)由废液罐(3‑1)和排液泵(3‑2)组成，排液泵(3‑2)通过软管分别与废液罐(3‑1)和排液管(1‑7)相连接，启动废液回收单元(3)可将腐蚀槽(1‑1)中的液体自动排入废液罐(3‑1)；所述观察测控单元(4)由显微镜、CCD相机、测控软件以及存储设备组成，其中显微镜的观察模式在可见光反射和红外光透射之间切换，整体放大倍数在50倍到1000倍之间可调；将样品放置在腐蚀槽(1‑1)中，使用显微镜选择待腐蚀观察的区域，通过腐蚀液进液泵(2‑2)将腐蚀液注入到腐蚀槽(1‑1)中对样品进行腐蚀，启动排液泵(3‑2)，腐蚀过程中腐蚀槽(1‑1)中的腐蚀液不断交替更新，同时产生的废液被即时收集到废液罐(3‑1)中，腐蚀过程中通过显微镜与CCD相机动态观察和记录材料腐蚀坑形成演变状态，腐蚀结束后，通过清洗液进液泵(2‑4)将清洗液注入到腐蚀槽(1‑1)中，直到样品洗净。