[实用新型]一种多晶铸锭用坩埚有效
| 申请号： | 201720344854.0 | 申请日： | 2017-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN207227589U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 徐文静;李航;姚祥侠;陈礼平 | 申请（专利权）人： | 江西中昱新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶铸锭用坩埚，包括坩埚本体，坩埚本体的内壁表层具有范围为10μm至20μm的粗糙度。由于本实用新型提供的多晶铸锭用坩埚中坩埚本体的内壁表层具有范围为10μm至20μm的粗糙度，这样可以提高高纯涂层和氮化硅层的粘附性，以及降低坩埚本体的杂质，进而有效提高多晶硅铸锭的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【主权项】：
一种多晶铸锭用坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体的内壁表层具有范围为10μm至20μm的粗糙度；所述坩埚本体的内壁表层上层叠设置有高纯涂层和氮化硅层；所述高纯涂层包括石英砂。
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