[实用新型]一种低能耗大尺寸晶硅方锭凝固装置

摘要

本实用新型公开了一种低能耗大尺寸晶硅方锭凝固装置，包括凝固炉本体，凝固炉本体的外侧设置有若干加热接入端口，加热接入端口的底端设置有冷却接入端口，凝固炉本体的内部设置有定型坩埚，定型坩埚的底端设置有冷却模块，冷却模块的外侧设置有移动冷却模块，定型坩埚的顶部设置有顶部加热器，移动冷却模块的一侧设置有冷却滑槽。本实用新型是一种低能耗大尺寸晶硅方锭凝固装置，可以提高凝固装置的使用性以及应用性，凝固装置在凝固的过程当中，加热均匀，内部温度容易控制，从底部进行冷却，冷却过程更加的精密，采用旋转达到不同的辐射散热来控制凝固速度，达到低能耗，高质量的效果，有效提高工作效率。

主权项

一种低能耗大尺寸晶硅方锭凝固装置，包括凝固炉本体（1），其特征在于，所述凝固炉本体（1）的一侧设置有气体输出管（7），所述气体输出管（7）上设置有气压表（8），所述凝固炉本体（1）的外侧设置有若干加热接入端口（6），所述加热接入端口（6）的底端设置有冷却接入端口（5），所述凝固炉本体（1）的底端设置有金属固定底座（4），所述凝固炉本体（1）的内部设置有定型坩埚（16），所述定型坩埚（16）的底端设置有冷却模块（13），所述冷却模块（13）的外侧设置有移动冷却模块（12），所述定型坩埚（16）的顶部设置有顶部加热器（9），所述移动冷却模块（12）的一侧设置有冷却滑槽（15），所述定型坩埚（16）的外侧设置有主体加热器（10），所述定型坩埚（16）的顶部设置有顶部加热器（9）。