[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201720193795.1 | 申请日: | 2017-03-01 |
公开(公告)号: | CN206477053U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 刘爱军;陈永庆 | 申请(专利权)人: | 江苏金晖光伏有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人: | 鞠明 |
地址: | 225600 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉,属于多晶硅生产设备技术领域,解决了传统铸锭炉隔热笼安装不便,变形严重,使用寿命短,企业生产成本低,生产效率低的问题。主要包括炉体、坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、进气管、热交换平台以及分体式隔热笼。本实用新型结构设计简单巧妙,安装维护方便,工人工作效率高;使用寿命长,热变形率很低,全新的结构设计,大幅度降低生产成本;本实用新型易于实现,实用性很强,可为企业创造可观经济效益,可广泛应用于多晶硅生产设备技术领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉,其包括炉体(1)、设置在炉体(1)上的抽气孔(2)、设置在所述炉体(1)内的带有升降杆(3)的隔热笼(4),所述隔热笼(4)上设有隔热屏,所述隔热笼(4)内设置有坩埚(5)、带有尾气排放孔(6)的坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)以及进气管(12),所述石墨底板(8)放置在热交换平台(13)上,所述坩埚(5)放置在所述石墨底板(8)上,所述坩埚护板(7)设置在坩埚(5)外侧,所述侧部加热器(10)设置在所述坩埚护板(7)外侧,所述石墨盖板(9)设置在所述坩埚(5)上方,所述顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方,其特征在于:所述隔热笼(4)为分体式隔热笼,其包括上层隔热笼与下层隔热笼,所述上层隔热笼包括由上主横向角钢(14)、上主纵向角钢(15)以及上副纵向角钢(16)采用螺栓依次拼接而成的上箱体框架(17);所述下层隔热笼包括由下主横向角钢(18)、下主纵向角钢(19)以及下副纵向角钢(20)采用螺栓依次拼接而成的下箱体框架(21),所述上箱体框架(17)与下箱体框架(21)上下拼合,并采用螺栓的连接方式固定连接。
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