[实用新型]一种高效多用晶圆清洗花篮

摘要

本实用新型涉及一种高效多用晶圆清洗花篮，包括可拆卸连接杆、与可拆卸连接杆插槽匹配连接的可拆卸置物托盘，可拆卸置物托盘底部设有多个通孔，可拆卸连接杆上端插槽的相对侧设有挂钩，可拆卸连接杆插槽上端设有一实现可拆卸置物托盘与可拆卸连接杆插槽活动连接的拆卸连接口，可拆卸连接杆的插槽底端部设有固定档板，可拆卸置物托盘依次通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接；多层水平方式承载晶圆碎片的组合式清洗腔体，防止晶圆碎片在清洗过程中滑落入清洗槽内；多个置物托盘的清洗腔体径向距离和轴向距离分别可设置成相等或不等，从而可以小批量清洗尺寸（厚度）相同或不同的晶圆碎片，节约清洗时间；易于组装，花篮组合牢靠结实。

主权项

一种高效多用晶圆清洗花篮，其特征在于，包括可拆卸连接杆、与可拆卸连接杆插槽匹配连接的可拆卸置物托盘，所述可拆卸置物托盘底部设有多个通孔，所述可拆卸连接杆上端插槽的相对侧设有挂钩，所述可拆卸连接杆插槽上端设有一实现可拆卸置物托盘与可拆卸连接杆插槽活动连接的拆卸连接口，所述可拆卸连接杆的插槽底端部设有固定档板，所述可拆卸置物托盘依次通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接。