[实用新型]一种用于制备磷化铟单晶的石英坩埚的封口装置有效
| 申请号： | 201720134929.2 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN206624949U | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 关活明 | 申请（专利权）人： | 台山市华兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B11/00 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司44001 | 代理人： | 黄培智 |
| 地址： | 529200 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于制备磷化铟单晶的石英坩埚的封口装置，包括工作台，设置在工作台上的具有空心结构的L形底座，设置在工作台下的抽真空装置，所述抽真空装置与L形底座的竖直端连通，所述L形底座水平端转动连接一空心结构的坩埚固定架，所述工作台上还设有一坩埚支撑架和一焊接装置。本实用新型的用于制备磷化铟单晶的石英坩埚的封口装置，通过将石英坩埚转动套接在抽真空装置上，实现在抽真空的同时对石英坩埚进行全面烧焊密封，有效提高石英坩埚的密封效果，其操作简单方便，提高了生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 磷化 铟单晶 石英 坩埚 封口 装置 | ||
【主权项】：
一种用于制备磷化铟单晶的石英坩埚的封口装置，所述石英坩埚包括坩埚本体(10)和坩埚帽(11)，所述坩埚帽(11)可插入到所述坩埚本体(10)的开口端内，其特征在于，所述封口装置包括工作台(1)，所述工作台(1)上设有一空心结构的L形底座(2)，所述工作台(1)下设有一抽真空装置(3)，所述抽真空装置(3)与L形底座(2)的竖直端连通，所述L形底座(2)水平端转动连接一空心结构的坩埚固定架(4)，所述工作台(1)上还设有一坩埚支撑架(5)和一焊接装置(6)，所述坩埚支撑架(5)位于坩埚本体(10)的封闭端，所述焊接装置(6)位于坩埚本体(10)的侧上方。
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