[实用新型]一种用于制备磷化铟单晶的控制系统

摘要

本实用新型公开了一种用于制备磷化铟单晶的控制系统，包括主控制器、受该主控制器控制的温度控制模块、压力控制模块和冷却控制模块；所述温度控制模块用于调节生长炉内的温度；所述压力控制模块用于调节生长炉内的压力；所述冷却控制模块用于调节生长炉炉体的温度，实现对生长炉的快速冷却。本实用新型的用于制备磷化铟单晶的控制系统，能够实现完全自动化，其控制精度高、可靠性高、稳定性好。

主权项

一种用于制备磷化铟单晶的控制系统，其特征在于，包括主控制器、受该主控制器控制的温度控制模块、压力控制模块和冷却控制模块；所述温度控制模块包括红外测温仪、加热器和多段温度控制器，所述红外测温仪采集磷化铟单晶生长坩埚的温度数据，并将该温度数据传送到主控制器，所述主控制器计算出控制量，并将该控制量传送至多段温度控制器，所述多段温度控制器通过调节加热器的功率，从而调节生长坩埚的温度；所述压力控制模块包括压力传感器、质量流量计、可控电磁阀和气压控制器，所述压力传感器采集磷化铟单晶生长炉内的压力数据，并将该压力数据传送到主控制器，所述主控制器计算出控制量，并将该控制量传送至气压控制器，所述气压控制器通过调节可控电磁阀开度，从而调节生长炉内的压力；所述冷却控制模块包括水温传感器、炉温传感器、水流量计、水泵和水流量控制器，所述炉温传感器采集磷化铟单晶生长炉炉体的温度数据，并将该温度数据传送到主控制器，所述主控制器计算出控制量，并将该控制量传送至水流量控制器，所述水流量控制器通过调节水泵的速度，从而调节生长炉炉体的温度。