[实用新型]一种磷化铟单晶生长装置有效
| 申请号： | 201720133446.0 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN206624947U | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 关活明 | 申请（专利权）人： | 台山市华兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B11/00 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司44001 | 代理人： | 黄培智 |
| 地址： | 529200 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种磷化铟单晶生长装置，包括高压炉、氮气系统、加热系统、冷却系统和控制系统，所述高压炉包括支架、炉体和往复式翻转机构，所述氮气系统包括气罐和可控电动阀，所述加热系统包括设置在炉体内腔的加热器和坩埚固定座，所述冷却系统包括依次连通水箱、散热器、水泵和空心铜管，所述控制系统包括压力传感器、热电偶、温度传感器和可编程逻辑控制器。本实用新型的磷化铟单晶生长装置，自动化程度高，能有效提高磷化铟单晶的生长质量和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 铟单晶 生长 装置 | ||
【主权项】：
一种磷化铟单晶生长装置，其特征在于，包括高压炉、氮气系统、加热系统、冷却系统和控制系统，其中：所述高压炉包括支架(1)、炉体(2)和往复式翻转机构(3)，所述炉体(2)在往复式翻转机构(3)的带动下沿支架(1)竖直翻转；所述氮气系统包括气罐(4)和可控电动阀(5)，所述气罐(4)通过管线与所述炉体(2)的内腔连通，所述可控电动阀(5)设置在炉体(2)的气体进出口上；所述加热系统包括设置在炉体(2)内腔的加热器(6)和坩埚固定座(7)，所述加热器(6)成环形，所述坩埚固定座(7)位于加热器(6)中下部；所述冷却系统包括依次连通水箱(8)、散热器(9)、水泵(10)和空心铜管(11)，所述空心铜管(11)缠绕在所述炉体(2)的外表面；所述控制系统包括压力传感器(12)、热电偶(13)、温度传感器(14)和可编程逻辑控制器(15)，所述压力传感器(12)设置在炉体(2)的内腔中，所述热电偶(13)设置在加热器(6)中，所述温度传感器(14)设置在炉体(2)中，所述加热器(6)、可控电动阀(5)和水泵(10)均与所述可编程逻辑控制器(15)电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台山市华兴光电科技有限公司，未经台山市华兴光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720133446.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于制备磷化铟单晶的高压炉
- 下一篇：一种用于制备磷化铟单晶的控制系统
