[实用新型]多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201720093276.8 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN206512311U | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王成龙;陈湘伟;尹祚鹏;高宝庆 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉，包括炉体；设置于所述炉体内的坩埚，用于盛放晶体硅；位于所述坩埚顶部的顶部加热器；位于所述坩埚外侧壁的侧部加热器；包围于所述坩埚外侧壁、顶部加热器及侧部加热器的隔热笼；位于所述坩埚底部的底部加热器，所述顶部加热器、侧部加热器或底部加热器用于对所述坩埚加热；设置于底部加热器与所述坩埚底部之间的冷却装置，用于通过冷却气体对所述炉体内散热。上述多晶硅铸锭炉可利用上述冷却装置的气冷的方式对上述坩埚的底部进行冷却、由于对坩埚底部快速、均匀的进行散热，有利于提升横向温度梯度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括：炉体；设置于所述炉体内的坩埚，用于盛放晶体硅；位于所述坩埚顶部的顶部加热器；位于所述坩埚外侧壁的侧部加热器；包裹所述坩埚外侧壁、顶部加热器及侧部加热器的隔热笼；位于所述坩埚底部的底部加热器，所述顶部加热器、侧部加热器以及底部加热器用于对所述坩埚加热；以及设置于底部加热器与所述坩埚底部之间的冷却装置，用于通过冷却气体对所述炉体内散热。
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