[实用新型]超净空间的高精度温控室有效

专利信息
申请号: 201720082937.7 申请日: 2017-01-22
公开(公告)号: CN206448562U 公开(公告)日: 2017-08-29
发明(设计)人: 倪欣;丁峰;刘涛 申请(专利权)人: 中联西北工程设计研究院有限公司
主分类号: E04H1/12 分类号: E04H1/12;E04F17/04;E04B2/56
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司61200 代理人: 张弘
地址: 710082*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种超净空间的高精度温控室,包括核心实验室;所述的核心实验室采用多级嵌套结构,核心实验室的外周设置有核心区回廊,核心区回廊一侧设置超精区走廊,另一侧设置第二回风夹道;核心实验室设置有两面用于自然对流的通风板墙。该结构能够使其内部温度控制在±0.01℃的使用要求。且该实验区内不能有任何送排风管道,以免对气流造成扰动。
搜索关键词: 净空 高精度 温控
【主权项】:
一种超净空间的高精度温控室,其特征在于:包括核心实验室(9);所述的核心实验室(9)采用多级嵌套结构,核心实验室(9)的外周设置有核心区回廊(8),核心区回廊(8)一侧设置超精区走廊(7),另一侧设置第二回风夹道(10);核心实验室(9)设置有两面能够形成自然对流的通风板墙(13);第二回风夹道(10)内的回风管道与核心区回廊(8)连通;超精区走廊(7)与核心区回廊(8)分别采用精度不同的空调系统。
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