[实用新型]一种生长石墨烯的装置有效
| 申请号： | 201720073313.9 | 申请日： | 2017-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN206428001U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 牟舜禹;高华;尹天平;何洪泉 | 申请（专利权）人： | 德阳烯碳科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙)51211 | 代理人： | 邓小兵 |
| 地址： | 618000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种生长石墨烯的装置，包括反应腔、进气机构和真空抽气机构，所述反应腔内固定设置有用于将反应腔分为生长室和匀气室的匀气筛，所述生长室内固定设置有层层叠加的生长基底，所述进气机构和真空抽气机构均通过电磁阀与匀气室连通。本实用新型能使各层生长基底之间的气流均匀分布，解决了石墨烯生长过程中各层生长基底之间气流均一性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 石墨 装置 | ||
【主权项】：
一种生长石墨烯的装置，其特征在于：包括反应腔（1）、进气机构和真空抽气机构，所述反应腔（1）内固定设置有用于将反应腔（1）分为生长室（3）和匀气室（4）的匀气筛（2），所述生长室（3）内固定设置有层层叠加的生长基底（5），所述进气机构和真空抽气机构均通过电磁阀与匀气室（4）连通。
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