[实用新型]一种加热装置有效
| 申请号： | 201720025828.1 | 申请日： | 2017-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN206411528U | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 唐寅;雷雄 | 申请（专利权）人： | 中芯长电半导体（江阴）有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 214437 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种加热装置，包括外槽，所述外槽内盛装有热传导液；内槽，所述内槽中盛装有待加热溶液，且所述内槽位于所述热传导液中；加热器，所述加热器位于所述热传导液中，适于加热所述热传导液；温控系统，所述温控系统与所述加热器电性连接，适于通过控制所述加热器来控制所述热传导液和所述待加热溶液的温度。本实用新型的加热装置将有机溶液与加热器隔离，不直接接触加热，降低了火灾的风险；通过温控系统对热传导液和待加热溶液温度的控制，使得加热温度精度高，加热均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种加热装置，其特征在于，包括：外槽，所述外槽内盛装有热传导液；内槽，所述内槽中盛装有待加热溶液，且所述内槽位于所述热传导液中；加热器，所述加热器位于所述热传导液中，适于加热所述热传导液；温控系统，所述温控系统与所述加热器电性连接，适于通过控制所述加热器来控制所述热传导液和所述待加热溶液的温度。
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