[发明专利]手持式LIBS光学系统

摘要

本发明涉及一种手持式LIBS光学系统，包括激光器、检测器，所述光学系统还包括：二色镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜，激光器发射的激光透过二色镜后经第一透镜汇聚将光斑聚焦在样品表面，样品发出的特征光由第一透镜汇聚、二色镜反射后经第二透镜耦合、光纤传输、第三透镜汇聚后到达狭缝；凹面光栅，所述凹面光栅将狭缝出射的特征光分光，并经第四透镜后进入检测器检测；所述狭缝、凹面光栅和检测器的两端位于直径等于所述凹面光栅曲率半径的罗兰圆圆周上；第四透镜，所述第四透镜使得分光后的特征光从凹面光栅经第四透镜到达检测器的光程与从凹面光栅直接到罗兰圆圆周的光程相等。本发明具有体积小、分辨率高、检测波长范围宽等优点。

主权项

1.一种手持式LIBS光学系统，包括激光器、检测器，其特征在于：所述光学系统还包括：二色镜，所述激光器发射的激光透过所述二色镜；第一透镜，透过所述二色镜的激光经所述第一透镜汇聚，将光斑聚焦在样品表面；第二透镜，样品表面发出的特征光由第一透镜汇聚、二色镜反射后经所述第二透镜耦合进入光纤；第三透镜，从所述光纤输出的特征光经第三透镜汇聚至狭缝；凹面光栅，所述凹面光栅将狭缝出射的特征光分光，并经第四透镜后进入检测器检测；所述狭缝、凹面光栅和检测器的两端位于直径等于所述凹面光栅曲率半径的罗兰圆圆周上；第四透镜，所述第四透镜对光程差进行补偿，使得分光后的特征光从凹面光栅经第四透镜到达检测器的光程与从凹面光栅不经过第四透镜直接到罗兰圆圆周的光程相等。