[发明专利]微纳薄膜磁声天线有效
| 申请号： | 201711462035.7 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108091982B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 彭霄;欧黎;马晋毅;何晓亮;龙飞;毛世平;蒋欣 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H01Q1/12 | 分类号： | H01Q1/12;H01Q1/38;H01L41/04;H01L41/06 |
| 代理公司： | 50212 重庆博凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李海华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 400060重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳薄膜磁声天线，包括底座，在底座上表面中部开设有空腔，在空腔底部和侧壁上以及底座上表面设有连为一体的绝缘层，在底座上表面绝缘层上设有支撑层，支撑层中部悬置于空腔之上；在支撑层上设有由磁致伸缩薄膜与薄膜体声波谐振器构成的磁‑声‑电耦合结构，磁‑声‑电耦合结构位于空腔正上方。所述磁致伸缩薄膜每张由多层磁致伸缩薄膜层与多层缓冲层组成，磁致伸缩薄膜层的层数与缓冲层的层数相同并间隔设置。本发明在实现小型化的同时保持天线具备比传统电天线更好的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 底座上表面 天线 支撑层 空腔 绝缘层 磁致伸缩薄膜层 磁致伸缩薄膜 电耦合结构 磁声 薄膜 薄膜体声波谐振器 多层缓冲层 间隔设置 缓冲层 侧壁 多层 底座 | ||
【主权项】：
1.微纳薄膜磁声天线，其特征在于：包括底座，在底座上表面中部开设有空腔，在空腔底部和侧壁上以及底座上表面设有连为一体的绝缘层，在底座上表面绝缘层上设有支撑层，支撑层中部悬置于空腔之上；在支撑层上设有由磁致伸缩薄膜与薄膜体声波谐振器构成的磁-声-电耦合结构，磁-声-电耦合结构位于空腔正上方；/n所述磁-声-电耦合结构中的薄膜体声波谐振器的上下表面分别设有顶电极和底电极，磁致伸缩薄膜为两张，分别位于顶电极上和底电极下，底电极下的磁致伸缩薄膜与支撑层连接。/n
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