[发明专利]单色结构光检查微小颗粒的方法及设备

摘要

本发明涉及一种单色结构光检查微小颗粒的方法及设备，其特征是，包括：承载系统，承载系统带动待检测样品沿X轴移动以及水平转动；光学成像系统，光学成像系统用于对待检测样品进行放大成像检测，并回传检测图像；光学照明系统，光学照明系统包括光源以及设置于所述光源外部的具有特定图形的光罩；控制系统，控制系统与承载系统连接，用于控制承载系统沿X轴移动和带动待检测样品水平转动；以及，计算机系统，计算机系统与光学成像系统和控制系统连接，用于对光学成像系统回传的检测图像进行处理，定量检测凸起或凹陷；并用于输出指令，使控制系统控制承载系统的动作。本发明可以快速、定量检测出待检测样品表面的微小凸起或凹陷。

主权项

一种单色结构光检查微小颗粒的设备，其特征是，包括：承载系统（3），所述承载系统（3）用于承载并夹持待检测样品并能够带动待检测样品沿X轴移动以及水平转动；光学成像系统（4），所述光学成像系统（4）安装于承载系统（3）上方，光学成像系统（4）用于对待检测样品进行放大成像检测，并回传检测图像；光学照明系统（5），所述光学照明系统（5）位于光学成像系统（4）的一侧，所述光学照明系统（5）包括光源（501）以及设置于所述光源（501）外部的具有特定图形的光罩（502）；控制系统（6），所述控制系统（6）与承载系统（3）连接，用于控制承载系统沿X轴移动和带动待检测样品水平转动；以及，计算机系统（7），所述计算机系统（7）与光学成像系统（4）和控制系统（6）连接，用于对光学成像系统（4）回传的检测图像进行处理，定量检测凸起或凹陷；并用于输出指令，使控制系统（6）控制承载系统（3）的动作。