[发明专利]大角度入射无半波孔的红外截止滤光片及其膜系设计方法

摘要

本发明涉及一种大角度入射无半波孔的红外截止滤光片及其膜系设计方法，包括基板、第一膜堆、第二膜堆和第三膜堆，第一膜堆沉积在基板上表面，第二膜堆设置于第一膜堆上表面，第三膜堆设置于第二膜堆上表面，其中第一膜堆、第二膜堆的同一膜堆中的高折射率材料膜层和低折射率材料膜层的光学厚度系数曲线形状相同，0~π的正弦波形或π~2π的正弦波形。第三膜堆的光学厚度系数曲线形状相反。本发明制备得到的红外截止滤光片在入射角度为0~40°时，可见波长区域的透过率未发生局部下降，无半波孔，且400‑650nm波段的平均透过率大于94%，保证了透过红外截止滤光片的光的颜色的平衡，从而使得成像色彩真实。

主权项

1.一种大角度入射无半波孔的红外截止滤光片，其特征在于：包括基板、第一膜堆、第二膜堆和第三膜堆，所述第一膜堆沉积在基板上表面，所述第二膜堆设置于第一膜堆上表面，所述第三膜堆设置于第二膜堆上表面，膜系结构表示为：Sub│(α1Hβ1Lα2Hβ2L…αm1Hβm1L)(i1Ik1Mi2Ik2M…im2Ikm2M)(γ1Jδ1Nγ2Jδ2N…γm3Jδm3N)│Air；其中(α1Hβ1Lα2Hβ2L…αm1Hβm1L)为第一膜堆；(i1Ik1Mi2Ik2M…im2Ikm2M)为第二膜堆；(γ1Jδ1Nγ2Jδ2N…γm3Jδm3N)为第三膜堆；Sub代表基板，Air代表空气，H、I、J分别代表高折射率材料膜层，L、M、N分别代表低折射率材料膜层；一个高折射率材料膜层和一个相邻与之配对的低折射率材料膜层形成一个高低对偶单元，m1、m2、m3分别为第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆中高低对偶单元数量，m1、m2、m3取整数；α、i、γ表示各膜堆中高折射率材料膜层的光学厚度系数，即基板垂直方向上膜层光学厚度占λ0/4的倍数，β、k、δ表示各膜堆中低折射率材料膜层的光学厚度系数，即基板垂直方向上膜层光学厚度占λ0/4的倍数。