[发明专利]一种法诺共振光学氢气传感器及其制备方法和应用系统有效
| 申请号： | 201711384825.8 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108226098B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 岳嵩;侯煜;刘嵩;张紫辰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种法诺共振光学氢气传感器，包括衬底、位于衬底表面的氧化层、以及位于氧化层表面的π型金属结构阵列，其中，π型金属结构阵列包括多个周期性分布的π型金属结构单元，π型金属结构单元包括：两根相互平行的第一金属纳米棒单元，与两根第一金属纳米棒单元垂直的第二金属纳米棒单元，其中，第一金属纳米棒单元包括第一贵金属层，所述第二金属纳米棒单元包括吸氢材料层。本发明还提供一种制备法诺共振光学氢气传感器的制备方法，以及一种法诺共振光学氢气传感器的应用系统。本发明能够实现对环境氢气浓度的高精度、高灵敏度的实时传感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共振 光学 氢气 传感器 及其 制备 方法 应用 系统 | ||
【主权项】：
1.一种法诺共振光学氢气传感器，包括衬底、位于所述衬底表面的氧化层、以及位于所述氧化层表面的π型金属结构阵列，其特征在于：所述π型金属结构阵列包括多个周期性分布的π型金属结构单元，所述π型金属结构单元包括：两根相互平行的第一金属纳米棒单元，与所述第一金属纳米棒单元垂直的第二金属纳米棒单元，其中，所述第一金属纳米棒单元包括第一贵金属层，所述第二金属纳米棒单元包括吸氢材料层。
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