[发明专利]一种SiCN陶瓷无线无源压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711374477.6 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108036881A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 余煜玺;刘熠新;余洪哿 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种SiCN陶瓷无线无源压力传感器及其制备方法，SiCN陶瓷无线无源压力传感器设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件、谐振腔和耦合槽天线；圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件的表面包裹有金属层，金属层形成谐振腔，耦合槽天线设在谐振腔的上表面，谐振腔通过耦合槽天线与共面波导线进行耦合。制备圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件；对非晶态SiCN陶瓷压敏元件表面处理；在非晶态SiCN陶瓷压敏元件上，贴上与耦合槽天线尺寸一致的聚酰亚胺胶带后，再在非晶态SiCN陶瓷压敏元件表面涂上金属层形成谐振腔，去除聚酰亚胺胶带，得上表面带有耦合槽天线的谐振腔；完成金属浆料的金属化，得非晶态SiCN陶瓷无线无源压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sicn 陶瓷 无线 无源 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种SiCN陶瓷无线无源压力传感器，其特征在于设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件、谐振腔和耦合槽天线；所述圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件的表面包裹有金属层，金属层形成谐振腔，耦合槽天线设在谐振腔的上表面，谐振腔通过耦合槽天线与共面波导线耦合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711374477.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高硬度聚氨酯叉车轮的制备方法
- 下一篇：一种木瓜养颜蜂蜜膏及其加工方法
